產(chǎn)品型號(hào)：ATLEX-S
品牌名稱(chēng)：德國(guó)ATL Lasertechnik
ATLEX-S系列激光器是一款非常緊湊的紫外光源，設(shè)計(jì)用于低、中占空比的OEM應(yīng)用。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 超緊湊的尺寸
· 超快電暈預(yù)電離技術(shù)
· HV-固態(tài)脈沖發(fā)生器
· 激光腔體<3L
· 全新技術(shù)的金屬陶瓷腔
· 集成真空泵和鹵素過(guò)濾器
· 全部風(fēng)冷，溫度控制
· 系統(tǒng)集成RS485，RS232，USB和FOC接口
· 方便清洗的光學(xué)鏡架
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)
· RoHS認(rèn)證
產(chǎn)品應(yīng)用：
· 光譜學(xué)
· 微加工
· 測(cè)試和測(cè)量
產(chǎn)品參數(shù)：
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ATLEX-S產(chǎn)品參數(shù)
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氣體介質(zhì)
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ArF
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KrF
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單位
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波長(zhǎng)
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193
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248
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nm
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高壓開(kāi)關(guān)技術(shù)
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固態(tài)開(kāi)關(guān)
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固態(tài)開(kāi)關(guān)
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最大重復(fù)頻率
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300
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500
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300
|
500
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Hz
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最大脈沖能量1
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10
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10
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15
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15
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mJ
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最大平均功率
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2,4
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4
|
4
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6
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W
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脈沖寬度2
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5 – 8
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ns
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光束尺寸2(V x H)
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4 x 6
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mm
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光束發(fā)散角2(V x H)
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1 x 2
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mrad
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能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差）
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< 3
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%
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尺寸（長(zhǎng)x寬x高）
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630 x 400 x 300
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mm
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重量
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65
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kg
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冷卻
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Air
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電力需求
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230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重復(fù)頻率情況下測(cè)得： 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會(huì)有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM |
