產(chǎn)品型號：ATLEX-500-L
品牌名稱：德國ATL Lasertechnik
產(chǎn)品特點：
· TMC（全金屬陶瓷）管路
· 電暈預(yù)電離
· 固態(tài)開關(guān)
· 延長動態(tài)和靜態(tài)氣體壽命（數(shù)月）
· 激光頭容積6 L
· 全部風(fēng)冷
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 集成4閥系統(tǒng)，便于氣體處理
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)，符合RoHS規(guī)范
· 模塊化設(shè)計/服務(wù)友好
產(chǎn)品參數(shù)：
|
ATLEX-500-L產(chǎn)品參數(shù)
|
|
氣體介質(zhì)
|
ArF
|
KrF
|
單位
|
|
波長
|
193
|
248
|
nm
|
|
高壓開關(guān)技術(shù)
|
固態(tài)開關(guān)
|
|
|
最大脈沖能量1
|
10
|
15
|
mJ
|
|
最大平均功率
|
4.0
|
6.5
|
W
|
|
最大重復(fù)頻率
|
500
|
Hz
|
|
脈沖寬度2
|
5 – 8
|
ns
|
|
光束尺寸2(V x H)
|
6 x 4
|
mm
|
|
光束發(fā)散角2(V x H)
|
2 x 1
|
mrad
|
|
能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差）
|
< 2
|
%
|
|
尺寸（長x寬x高）
|
600 x 415 x 567
|
mm
|
|
重量
|
70
|
kg
|
|
冷卻
|
Cooling Air / Optional Liquid
|
|
|
電力需求
|
230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz
|
|
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù)，如有因產(chǎn)品改進而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重復(fù)頻率情況下測得： 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM |
