產(chǎn)品型號:ATLEX-500-I
品牌名稱:德國ATL Lasertechnik
德國ATL Lasertechnik公司專業(yè)生產(chǎn)小型化、高重頻、緊湊型短脈沖準分子激光器,并在該領域保持技術領先地位。
產(chǎn)品特點:
· 軟電暈預電離
· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC(全金屬陶瓷)管路
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風冷,主動熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標準
· 符合RoHS規(guī)范
產(chǎn)品應用:
· 微機械加工
· 激光燒蝕
· 光譜學
· 計量學
產(chǎn)品參數(shù):
ATLEX-500-I 產(chǎn)品參數(shù)
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氣體介質(zhì)
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F2
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ArF
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KrF
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XeCl
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XeF
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單位
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波長
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157
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193
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248
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308
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351
|
nm
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高壓開關技術
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固態(tài)開關
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最大脈沖能量1
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1
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10
|
15
|
8
|
7
|
mJ
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最大平均功率
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0.5
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4.0
|
6.5
|
3.0
|
2.5
|
W
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最大重復頻率
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500
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Hz
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脈沖寬度2
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5 – 8
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ns
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光束尺寸2(V x H)
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4 x 6
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mm
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光束發(fā)散角2(V x H)
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1 x 2
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mrad
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能量穩(wěn)定性(標準偏差)
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< 3
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%
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尺寸(長x寬x高)
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540 x 470 x 370
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mm
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重量
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60
|
kg
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冷卻
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Cooling Air / Optional Liquid
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電力需求
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230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù),如有因產(chǎn)品改進而更改的,恕不另行通知。
1 在最低重復頻率情況下測得: 應用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值,FWHM |