產(chǎn)品型號(hào)：Beam'R2
產(chǎn)品ID：S-BR2-Si
品牌名稱：美國(guó)Dataray
狹縫掃描式光束質(zhì)量分析儀系統(tǒng)提供高分辨率，但是要求光束小于1μm并且價(jià)格要高于相機(jī)型光束分析儀。盡管不能給出光束圖像，但是在很多情況下XY或XYZ就可以滿足應(yīng)用要求。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 190至1150 nm，Si探測(cè)器
· 650至1800 nm，InGaAs探測(cè)器
· 1000至2300或2500 nm，InGaAs（擴(kuò)展）探測(cè)器
· 端口供電，USB2.0，靈活的3米電纜，沒有電源磚
· 0.1μm采樣和分辨率
· 線性和對(duì)數(shù)X-Y輪廓
· 輪廓縮放和狹縫寬度補(bǔ)償
· 經(jīng)濟(jì)又準(zhǔn)確
· M2選項(xiàng) – 光束傳播分析、發(fā)散、聚焦
產(chǎn)品選擇：
|
|
Beam’R2
|
BeamMap2
|
|
主要特征
|
集成X和Y輪廓
|
實(shí)時(shí) XYZθΦ 測(cè)量和焦點(diǎn)查找
實(shí)時(shí)指向、發(fā)散和M2 測(cè)量
|
|
接口
|
USB 2.0 Port-powered
|
|
CW or Pulsed?
|
CW，脈沖最小 PRR（Si 探測(cè)器）≈ [500/（激光直徑μm）] kHz
|
|
波長(zhǎng)
|
Si:190-1150 nm
InGaAs:650-1800 nm
Si+InGaAs:190-1800nm
Si+InGaAs,extended:190-2500nm
|
|
X-Y-Z Profiles, plus Θ-Φ
|
N/A
|
|
|
最佳分辨率
|
0.1 μm
|
|
最小光束
|
2 μm (Knife Edge mode)
|
|
更新率
|
5 Hz real-time (adjustable 2-10 Hz)
|
|
M2 測(cè)量
|
Yes - with M2DU-BR accessory
|
Yes - real-time
|
|
定位焦點(diǎn)
|
Yes - with M2DU-BR accessory
|
Yes - real-time
|
|
指向/發(fā)散
|
Yes - with M2DU-BR accessory
|
Yes - real-time
|
|
開關(guān)增益（選項(xiàng) dB）
|
32 dB
|
|
參數(shù)
|
參數(shù)值
|
BeamMap2
|
Beam'R2
|
Comments
|
|
波長(zhǎng)可選范圍（nm）
|
190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500
|
Yes
|
Yes
|
Si, InGaAs, Si + InGaAs,
|
|
被掃描光束直徑
|
2 μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X)
|
Yes
|
Yes
|
Si + InGaAs, extended
|
|
X-Y 輪廓及中心分辨率：
|
0.1 μm 或者 0.05% 的掃描范圍
|
Yes
|
Yes
|
|
|
精度:
|
± <2% ± ≤0.5μm
|
Yes
|
Yes
|
|
|
CW or Pulsed
|
連續(xù)/脈沖 最小PRR ≈ [500/(激光直徑μm)]kHz
|
Yes
|
Yes
|
|
|
光束對(duì)準(zhǔn)準(zhǔn)直
|
± 1 mrad with BeamMap2 Colli Mate
|
Yes
|
-
|
|
|
M2 測(cè)量
|
1 to >20, ± 5%
|
Yes
|
-
|
Beam Dependent
|
|
實(shí)時(shí)更新
|
5 Hz
|
Yes
|
Yes
|
4 Z-plane hyperbolic fit
|
|
最大功率＆輻照度
|
1 W Total & 0.3 mW/μm2
|
Yes
|
Yes
|
Adjustable 2-12 Hz
|
|
增益范圍：
|
32dB
|
Yes
|
Yes
|
Metallic film on Sapphire slits
|
|
