我們的1000 W紫外大面積曝光光源包括近紫外(350 - 450 nm)、中紫外(260 - 320 nm) 和深紫外(220 - 260 nm)光源。近紫外是經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)，可曝光大部分光刻膠；中紫外用于聚合物交聯(lián)以及新型光刻膠；深紫外主要用于深紫外光刻膠的研究。我們的照明器可輻照 2.13 x 2.13英寸 到 10 x 10 英寸的樣品。近紫外、中紫外和深紫外光源為HgXe燈，在工作平面上產(chǎn)生高度均勻的準(zhǔn)直光束。
特點(diǎn)：
• 高強(qiáng)度輸出
• 強(qiáng)度分布均勻的大面積準(zhǔn)直光束
• 高效帶外抑制
• 定時(shí)曝光
紫外大面積曝光光源技術(shù)參數(shù)：
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型號(hào)
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品名
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燈類(lèi)型
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輸出光束尺寸
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波段
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電源要求
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工作距離
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92530
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近紫外大面積曝光光源
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HgXe燈
功率：1000W
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6英寸x 6英寸
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350-450nm
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95-264VAC/15A, 47-63 Hz
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101mm
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型號(hào)
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品名
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燈類(lèi)型
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輸出光束尺寸
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波段
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電源要求
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工作距離
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92532
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中紫外大面積曝光光源
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HgXe燈
功率：1000W
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6英寸x 6英寸
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260-320nm
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95-264VAC/15A, 47-63 Hz
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101mm
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型號(hào)
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品名
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燈類(lèi)型
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輸出光束尺寸
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波段
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電源要求
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工作距離
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92531
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深紫外大面積曝光光源
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HgXe燈
功率：1000W
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6英寸x 6英寸
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220-260nm
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95-264VAC/15A, 47-63 Hz
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101mm
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