D7型λ/1000超高精度激光干涉儀，設(shè)計緊湊、用戶界面友好，0.6nm極好的測量精度。非常好地測量高精密光學(xué)系統(tǒng)、復(fù)雜的表面形狀、大尺寸非球面偏差；揭示起源于制造技術(shù)的面形特征和缺陷。這對于建造精密的高端衛(wèi)星相機(jī)、高分辨望遠(yuǎn)鏡、強(qiáng)大的微芯片，乃至超快計算機(jī)都是不可或缺的重要手段。
主要特點：
• D7型激光干涉儀提供0.6nm的測試準(zhǔn)確度和極好的重復(fù)性(世界紀(jì)錄)
• RMS重復(fù)性：< 0.06 nm (λ/10500)
• 檢測球面、平面、非球面及自由形體
• 測量光學(xué)系統(tǒng)的透射波陣面
• 曲率半徑測量
• 數(shù)據(jù)獲取：相移干涉測量法(PSI)
• 尺寸：490mm x 300mm x 260mm
• D7型激光干涉儀：緊湊、可靠、使用方便
• 測試過程簡便，只需三個步驟：
1. 把待測的光學(xué)系統(tǒng)或部件放在支架上
2. 用軟件界面準(zhǔn)直調(diào)整測試部件
3. 調(diào)整干涉條紋并按動測量按鈕即可進(jìn)行測量
優(yōu)點：
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優(yōu)點
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好處
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理想?yún)⒖迹河捎诓捎梦锢韰⒖?/span>，因而沒有傳輸誤差
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1. 省時：因為無需改變大量參考
2. 節(jié)省成本：因為無需購買昂貴的參考裝置
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比標(biāo)準(zhǔn)性能傳輸?shù)姆扑髑蛎娓缮鎯x有超過100倍更高的精度
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節(jié)省時間和成本：因為不需要中間儀器和附加的方法來提高精度
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D7型激光干涉儀比其它激光干涉儀可檢驗更多的表面特征
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由于在安裝和光學(xué)系統(tǒng)上市之前更好地揭示了制造誤差，從而節(jié)省了成本
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穩(wěn)定性和堅固性
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1. 省時：因為極好的重復(fù)性提供準(zhǔn)確的測試數(shù)據(jù)，無需反復(fù)地證明測試結(jié)果
2. 節(jié)省成本：因為D7型激光干涉儀不需要特殊的(工作)環(huán)境條件
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應(yīng)用范圍寬
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節(jié)省時間和成本：由于緊湊和簡單的設(shè)置，可在實驗室或工廠（現(xiàn)場）垂直和水平方向使用D7型激光干涉儀
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沒有可追溯的誤差
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由于在測量非球面和自由形體時簡化的設(shè)置，從而節(jié)省時間和成本
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主要技術(shù)參數(shù)：
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性能
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精度
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≤0.6 nm (λ/1000)
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RMS波前重復(fù)性
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≤0.23 nm (λ/2800)
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數(shù)據(jù)采集時間
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10ms
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光學(xué)
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系統(tǒng)數(shù)值孔徑(NA)
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0.6 (F數(shù) 0.83)
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系統(tǒng)成像數(shù)值孔徑(NA)
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0.55 (F數(shù) 0.91)
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成像變焦系統(tǒng)
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軟件界面控制4 x光學(xué)變焦
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成像
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具有偽影去除選項的相干（無散射玻璃）
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CCD相機(jī)
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0.5k × 0.5k (可選：1k x 1k, 2k x 2k or 5k x 5k，也可按照客戶要求)
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高分辨率
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λ/8000
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像素深度（數(shù)字化）
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12位
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曝光時間
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最少40μs
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傳感器像素分辨
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500×500，直徑≥50mm
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聚焦控制
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電動及軟件界面控制
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光學(xué)聚焦范圍
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±2米
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激光器
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激光類型和波長
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穩(wěn)定的He-Ne激光器，波長：632.8nm
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激光功率
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2mW（更高功率可根據(jù)用戶的要求提供）
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偏振
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可調(diào)節(jié)測試表面性質(zhì)
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相干
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≥100米
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系統(tǒng)
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數(shù)據(jù)采集
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相移干涉測量（PSI）或靜態(tài)
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PSI方法
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PZT電子相移
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準(zhǔn)直范圍
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±2.5度
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準(zhǔn)直類型
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雙點
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準(zhǔn)直十字線
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計算機(jī)產(chǎn)生
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*接受定制解決方案
D7型激光干涉儀的應(yīng)用：
I. 波前質(zhì)量
• 投影鏡頭
• 望遠(yuǎn)鏡
• 顯微鏡
• 光學(xué)鏡頭
II.表面光學(xué)質(zhì)量
• 球面
• 平面
• 角隅稜鏡
• 非球面
• 自由形體
• 參考光學(xué)系統(tǒng)
III.曲率半徑
• 把長距離傳感器與D7激光干涉儀提供的最高聚焦精度相結(jié)合，可獲得ppm RoC精度
IV. 成像質(zhì)量
• 在部署之前驗證你的光學(xué)系統(tǒng)的分辨能力
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