美國(guó)Minus K公司的負(fù)剛度振動(dòng)隔離專利技術(shù)制造的LC-4高精密隔振平臺(tái)是超緊湊超低頻率負(fù)剛度精密隔振平臺(tái)。它有兩種配置:一種是1.5Hz水平固有頻率,另一種是0.5Hz水平固有頻率。兩種配置均提供該公司具有鮮明特征的0.5Hz垂直固有頻率。
數(shù)個(gè)LC-4精密隔振平臺(tái)還可以組成精密隔振平臺(tái)系統(tǒng)支撐較的大負(fù)載,而其自身卻占用很少的空間。LC-4精密隔振平臺(tái)不需要空氣動(dòng)力和電力。如果需要,可以定制LC-4精密隔振平臺(tái),達(dá)到用戶的特殊需求,例如:不同的水平和垂直頻率、阻尼等。這個(gè)精密隔振平臺(tái)系列也可用于潔凈室且真空相容。
特點(diǎn):
∙ 隔離效果比高性能空氣平臺(tái)系統(tǒng)高出10-100倍
∙ 不需要空氣動(dòng)力和電力
∙ 使用方便
∙ 無(wú)磨損
∙ 無(wú)需維修
性能:
∙ 在整個(gè)負(fù)載范圍達(dá)到0.5 Hz或更低的垂直固有頻率。
∙ 水平固有頻率取決于負(fù)載。在標(biāo)稱負(fù)載或接近標(biāo)稱負(fù)載,兩種配置可分別達(dá)到1.5Hz和0.5Hz或更低的水平固有頻率。
應(yīng)用:
SPM、AFM、SEM、TEM、STM(掃描隧道顯微鏡)、、NSOM(近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡系統(tǒng))、STEM(掃描透射電鏡)、原子力顯微鏡-拉曼集成系統(tǒng)、光學(xué)干涉儀、光學(xué)輪廓儀、共聚焦激光掃描顯微鏡、晶片測(cè)試、傳感器標(biāo)定、半導(dǎo)體加工,微電子學(xué)和MEMS制備、電信,航空航天工程、細(xì)胞注射、膜片鉗、微操縱器、 生物學(xué)和神經(jīng)系統(tǒng)科學(xué)、 生理學(xué)和生物物理及醫(yī)學(xué)研究領(lǐng)域的敏感設(shè)備、顯微硬度測(cè)試儀,納米硬度計(jì)壓頭產(chǎn)品、納米壓痕,音頻復(fù)制等方面。
規(guī)格參數(shù):
重量: 約 7 lb (3.1 kg)
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Low Frequency Horizontal (LC-4)
尺寸: 4.75" 寬 x 4.75" 深 x 7" 高 (121mm 寬 x 121mm 深 x 178mm 高)
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Ultra Low Frequency Horizontal (LC-4U)
尺寸: 4.75" 寬 x 4.75" 深 x 8" 高 (121mm 寬 x 121mm 深 x 203mm 高)
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近似負(fù)載范圍:
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型號(hào)
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負(fù)載范圍*
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25LC-4
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25LC-4U
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12 - 25 lb (5.4 - 11.3 kg)
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35LC-4
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35LC-4U
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25 - 35 lb (11.3 - 15.8 kg)
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50LC-4
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50LC-4U
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36 - 55 lb (16.3 - 25 kg)
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70LC-4
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70LC-4U
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50 - 70 lb (22.6 - 31.7 kg)
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100LC-4
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100LC-4U
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75 - 100 lb (34 - 45.3 kg)
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125LC-4
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125LC-4U
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95 - 130 lb (43 - 59 kg)
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*可定制用戶所需的負(fù)載范圍
LC-4高精密隔振平臺(tái)應(yīng)用案例:
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