|
美國(guó)Minus K公司的負(fù)剛度振動(dòng)隔離專利技術(shù)制造的BM-10精密隔振平臺(tái)比高性能的氣動(dòng)平臺(tái)好10-100倍，平臺(tái)自身的封裝高度只有117毫米、寬和深分別為310毫米，不需要任何空氣動(dòng)力和電力！BM-10高精密隔振平臺(tái)使用非常方便，性能極佳。BM-10高精密隔振平臺(tái)具有1.5Hz水平固有頻率和這個(gè)公司具有鮮明特征的0.5Hz垂直固有頻率。該高精密隔振平臺(tái)只有兩個(gè)調(diào)節(jié)鈕。BM-10高精密隔振平臺(tái)對(duì)新一代小型掃描探針顯微鏡(SPM)是非常完美的，SPM要求在很緊湊的系統(tǒng)有最高的性能。這是一款最薄、占用空間最小、最輕便、用戶最友好的精密隔振平臺(tái)，并可用于潔凈室且真空相容。
特點(diǎn)：
∙ 隔離效果比高性能空氣平臺(tái)系統(tǒng)高出10-100倍
∙ 無(wú)需空氣動(dòng)力和電力
∙ 使用極方便
∙ 無(wú)磨損
∙ 無(wú)需維修
性能：
∙ 水平頻率取決于負(fù)載。
∙ 在負(fù)載范圍的上限，水平頻率為1.5Hz。
∙ 在負(fù)載范圍的下限，水平頻率約2.5Hz。
∙ 在整個(gè)負(fù)載范圍，垂直頻率可調(diào)到0.5Hz。
應(yīng)用：
SPM、AFM、SEM、TEM、STM(掃描隧道顯微鏡)、NSOM(近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡系統(tǒng))、STEM(掃描透射電鏡)、光學(xué)干涉儀、光學(xué)輪廓儀、共聚焦激光掃描顯微鏡、晶片測(cè)試、傳感器標(biāo)定、半導(dǎo)體加工，微電子學(xué)和MEMS制備、電信，航空航天工程、細(xì)胞注射、膜片鉗、微操縱器、 生物學(xué)和神經(jīng)系統(tǒng)科學(xué)、 生理學(xué)和生物物理及醫(yī)學(xué)研究領(lǐng)域的敏感設(shè)備、顯微硬度測(cè)試儀，納米硬度計(jì)壓頭產(chǎn)品、納米壓痕，音頻復(fù)制等方面。
規(guī)格參數(shù)：
|
重量: 約35 lb (16 kg)
|
|
尺寸：12.2”寬 x 12.2”深 x 4.6”高 (310mm寬 x 310mm深 x 117mm高)
|
|
近似負(fù)載重量范圍：
|
|
型號(hào)
|
負(fù)載范圍
|
|
10BM-10
|
0 - 10 lb (0 - 4.5 kg)
|
|
25BM-10
|
10 - 30 lb (4.5 - 14 kg)
|
|
50BM-10
|
30 - 55 lb (14 - 25 kg)
|
|
75BM-10
|
50 - 80 lb (22.5 - 36 kg)
|
|
100BM-10
|
75 - 110 lb (34 - 50 kg)
|
注：可定制用戶所需的負(fù)載范圍
BM-10高精密隔振平臺(tái)應(yīng)用案例：
|
