BM-4精密隔振平臺是美國Minus K公司的負(fù)剛度振動(dòng)隔離專利技術(shù)產(chǎn)品。這款高性價(jià)比的精密隔振平臺可達(dá)到0.5Hz的垂直固有頻率和水平固有頻率，并可用于潔凈室且真空相容。
特點(diǎn)：
∙ 隔離效果比高性能空氣平臺系統(tǒng)高出10-100倍
∙ 無需空氣動(dòng)力和電力
∙ 使用方便
∙ 無磨損
∙ 無需維修
性能：
∙ 在整個(gè)負(fù)載范圍內(nèi)均能達(dá)到0.5 Hz或更低的垂直固有頻率。
∙ 水平固有頻率取決于負(fù)載。在標(biāo)稱負(fù)載或接近標(biāo)稱負(fù)載，可達(dá)到0.5 Hz或更低。
應(yīng)用：
SPM、AFM、SEM、TEM、STM(掃描隧道顯微鏡)、、NSOM(近場掃描光學(xué)顯微鏡系統(tǒng))、STEM(掃描透射電鏡)、光學(xué)干涉儀、光學(xué)輪廓儀、共聚焦激光掃描顯微鏡、晶片測試、傳感器標(biāo)定、半導(dǎo)體加工，微電子學(xué)和MEMS制備、電信，航空航天工程、細(xì)胞注射、膜片鉗、微操縱器、 生物學(xué)和神經(jīng)系統(tǒng)科學(xué)、 生理學(xué)和生物物理及醫(yī)學(xué)研究領(lǐng)域的敏感設(shè)備、顯微硬度測試儀，納米硬度計(jì)壓頭產(chǎn)品、納米壓痕，音頻復(fù)制等方面。
規(guī)格參數(shù)：
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重量：約60磅（27kg）
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尺寸：16.8" 寬 x 16.8" 深 x 8.5" 高 (427mm寬 x 427mm深 x 216mm高)
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近似負(fù)載重量范圍：
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型號
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負(fù)載范圍
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25BM-4
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0 - 25 lb (0 - 11 kg)
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50BM-4
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20 - 55 lb (9 - 25 kg)
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100BM-4
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50 - 105 lb (23 - 48 kg)
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150BM-4
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90 - 155 lb (41 - 70 kg)
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200BM-4
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145 - 205 lb (63 - 93 kg)
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注：可定制用戶所需的負(fù)載范圍
BM-4高精密隔振平臺應(yīng)用案例：
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