CM-1高精密隔振平臺是緊湊型高負(fù)載、低頻率負(fù)剛度隔振平臺;和Minus K公司所有的精密隔振平臺一樣,它們都是被動式的,不需要空氣動力和電力。幾個CM-1高精密隔振平臺還可以組成精密隔振平臺系統(tǒng)支撐大負(fù)載,而其自身卻占用很少的空間。
CM-1高精密隔振平臺可以被放置在底座上,使它們達到一個適當(dāng)?shù)母叨葋砀履悻F(xiàn)有的空氣平臺,使你能夠保留你現(xiàn)有的臺面并達到好得多的隔振效果。
CM-1高精密隔振平臺有幾個負(fù)載范圍來匹配振動敏感的儀器,像SPM、AFM、STM等,以及顯微硬度測試儀、輪廓儀、干涉儀、電子顯微鏡或其它成像系統(tǒng)。如果需要,可以定制CM-1高精密隔振平臺,達到用戶的特殊需求,例如:不同的水平頻率和垂直頻率、阻尼等。
CM-1高精密隔振平臺系列也可用于潔凈室且真空相容。
CM-1緊湊型低頻率高精密隔振平臺負(fù)載重量是50到1050磅(476.3 kg),0.5Hz的垂直和水平固有頻率。自重只有11.8kg的高精密隔振平臺卻能夠承受1050磅(476.3 kg)的重量!
特點:
∙ 隔離效果比高性能空氣平臺系統(tǒng)高出10-100倍
∙ 不需要空氣動力和電力
∙ 使用方便
∙ 無磨損
∙ 無需維修
性能:
∙ 在整個負(fù)載范圍達到0.5 Hz或更低的垂直固有頻率。
∙ 水平固有頻率取決于負(fù)載。在標(biāo)稱負(fù)載或接近標(biāo)稱負(fù)載,可達到0.5 Hz或更低的固有頻率。
應(yīng)用:
SPM、AFM、SEM、TEM、STM(掃描隧道顯微鏡)、、NSOM(近場掃描光學(xué)顯微鏡系統(tǒng))、STEM(掃描透射電鏡)、光學(xué)干涉儀、光學(xué)輪廓儀、共聚焦激光掃描顯微鏡、晶片測試、傳感器標(biāo)定、半導(dǎo)體加工,微電子學(xué)和MEMS制備、電信,航空航天工程、細(xì)胞注射、膜片鉗、微操縱器、 生物學(xué)和神經(jīng)系統(tǒng)科學(xué)、 生理學(xué)和生物物理及醫(yī)學(xué)研究領(lǐng)域的敏感設(shè)備、顯微硬度測試儀,納米硬度計壓頭產(chǎn)品、納米壓痕,音頻復(fù)制等方面。
規(guī)格參數(shù):
重量: 約26 lb (11.8 kg)
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尺寸: 7.875" 寬 x 7.875" 深 x 8.5" 高 (200mm寬 x 200mm深 x 216mm高)
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近似負(fù)載范圍:
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型號
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負(fù)載范圍*
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200CM-1
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50 - 200 lb (22.7 - 90.7 kg)
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500CM-1
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200 - 500 lb (90.7 - 226.8 kg)
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800CM-1
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500 - 800 lb (226.8 - 362.9 kg)
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1000CM-1
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750 - 1050 lb (340.2 - 476.3 kg)
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*可定制用戶所需的負(fù)載范圍
CM-1緊湊型高精密隔振平臺應(yīng)用案例:
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