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CUBE3.100 |
CUBE3.200 |
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運動范圍XYZ（µm） |
100 |
200 |
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分辨率XYZ（nm） |
0,1 |
0,2 |
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典型的噪聲基準XYZ（nm） |
0,01 |
0,02 |
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全方位的重復性XYZ（nm） |
0,2 |
0,4 |
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線性化（典型的） |
0,02% |
0,02% |
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諧振頻率X / Y / Z（赫茲） |
200/200/500 |
200/200/500 |
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剛度 X/Y/Z (N/µm) |
0,3/0,3/0,6 |
0,3/0,3/0,6 |
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最大負載（kg）-水平使用 |
0,5 |
0,5 |
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最大負載（kg）-垂直使用 |
0,1 |
0,1 |
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傳感器 |
Silicon HR sensor |
Silicon HR sensor |
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尺寸W x L x H (mm) |
63,5 x 63,5 x 52,45 |
63,5 x 63,5 x 52,45 |
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材料 |
Al |
Al |
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電纜長度（m） |
2 |
2 |
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推薦控制器 |
Standard |
Standard | |
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