LFHS3

運動范圍XYZ（µm）

75

75

50

分辨率XYZ（nm）

0,075

0,075

0,05

典型的噪聲基準XYZ（nm）

0,0075

0,0075

0,005

全方位的重復性XYZ（nm）

0,15

0,15

0,1

線性化（典型的）

0,02%

0,02%

0,02%

諧振頻率X / Y / Z（赫茲）

3000

2000

1500

剛度 X/Y/Z (N/µm)

4

3

3

最大負載（kg）-水平使用

1

最大負載（kg）-垂直使用

0,5

傳感器

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

140 x 121 x 33,6

材料

Al

電纜長度（m）

2

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