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LFHS2 |
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運(yùn)動(dòng)范圍XY（µm） |
75 |
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分辨率XY（nm） |
0,075 |
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典型的噪聲基準(zhǔn) XY（nm） |
0,0075 |
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全方位的重復(fù)性XY（nm） |
0,15 |
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線性化（典型的） |
0,02% |
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諧振頻率X / Y（Hz） |
3000/2000 |
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剛度 (N/µm) |
4/3 |
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最大負(fù)載（kg）-水平使用 |
1 |
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最大負(fù)載（kg）-垂直使用 |
0,5 |
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傳感器 |
Silicon HR sensor |
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尺寸W x L x H (mm) |
120,8 x 120,7 x 28,5 |
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材料 |
Al |
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電纜長度（m） |
2 |
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推薦控制器 |
High Speed | |
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