|
|
Z-INSERT 100 |
Z-INSERT 200 |
Z-INSERT 300 |
|
運(yùn)動(dòng)范圍（µm） |
100 |
200 |
300 |
|
分辨率（nm） |
0,1 |
0,2 |
0,3 |
|
典型的噪聲基準(zhǔn)（nm） |
0,01 |
0,02 |
0,03 |
|
全范圍重復(fù)性（nm） |
0,2 |
0,4 |
0,6 |
|
線性化（典型的） |
0,02% |
0,02% |
0,02% |
|
諧振頻率（hz) |
500 |
450 |
350 |
|
剛度 (N/µm) |
0,6 |
0,6 |
0,4 |
|
最大負(fù)載（kg）-水平使用 |
1 |
1 |
1 |
|
最大負(fù)載（kg）-垂直使用 |
0,5 |
0,5 |
0,5 |
|
傳感器 |
Silicon HR sensor |
Silicon HR sensor |
Silicon HR sensor |
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尺寸：W x L x H (mm) |
109,80 x 159,80 x 19,10 |
109,80 x 159,80 x 19,10 |
109,80 x 159,80 x 19,10 |
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材料 |
Al |
Al |
Al |
|
電纜長(zhǎng)度（m） |
2 |
2 |
2 |
|
推薦控制器 |
Standard |
Standard |
Standard | |
|
