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產品說明：
采用了獨特的數(shù)字位移傳感器，實現(xiàn)了高精度·高剛性·高速度和理論分辨率達1nm的壓電陶瓷平臺。
特點：
● 采用了獨特的數(shù)字位移傳感器，可實現(xiàn)高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺。
● 采用壓電陶瓷作為驅動機構，開環(huán)控制時的行程為90μm〜100μm，理論分辨率達1nm。
● 位置檢測采用了數(shù)字位移傳感器（頻率→數(shù)字變換方式的微小位移傳感器），閉環(huán)控制時的顯示分辨率為10nm。
● 使用FINE系列控制器，可實現(xiàn)高速定位。
● 重復驅動SFS-H（直動）系列平臺，可達10〜15Hz的頻率。若使用FINE-01γ的模擬信號驅動時，可達25Hz。
技術參數(shù)：
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型號 |
 SFS-H40X(CL)
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 SFS-H40Z(CL)
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 SFS-H60X(CL)
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SFS-H60XY(CL) |
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行程 |
90μm±15％ |
100μm±15％ |
100μm±15％ |
100μm±15％ |
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臺面尺寸〔mm〕 |
40×40 |
40×40 |
60×60 |
60×60 |
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驅動機構 |
壓電陶瓷 |
壓電陶瓷 |
壓電陶瓷 |
壓電陶瓷 |
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自重〔kg〕 |
0.28 |
0.28 |
0.4 |
0.43 |
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理論分辨率（開環(huán)時）〔nm〕 |
1 |
1 |
1 |
1 |
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分辨率（閉環(huán)時）〔nm〕 |
10 |
10 |
10 |
10 |
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直線性〔％〕 |
0.3以下 |
0.3以下 |
0.3以下 |
0.3以下 |
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垂直度（水平方向）〔μm〕 |
1 |
1 |
1 |
1 |
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重復定位精度〔μm〕 |
0.1以下 |
0.1以下 |
0.1以下 |
0.1以下 |
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承載能力〔N〕 |
9.8（1.0kgf） |
6.7（0.7kgf） |
19.6（2.0kgf） |
14.7（1.5kgf） |
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微小位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
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適用電纜 |
電纜（2m）附屬 |
電纜（2m）附屬 |
FINE-CA-3：壓電陶瓷平臺用
DS1-CA-3：數(shù)字位移傳感器用 |
FINE-CA-3：壓電陶瓷平臺用
DS1-CA-3：數(shù)字位移傳感器用 |
SFS-H60XYZ(CL) 和SFS-H60Z(CL)精密壓電陶瓷平臺技術參數(shù)：
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行程 |
100μm±15％ |
100μm±15％ |
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臺面尺寸 |
60×60mm |
60×60mm |
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驅動機構 |
壓電陶瓷 |
壓電陶瓷 |
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自重 |
0.63kg |
0.33kg |
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理論分辨率（開環(huán)時） |
1nm |
1nm |
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分辨率（閉環(huán)時） |
10nm |
10nm |
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直線性誤差 |
＜0.5％ |
＜0.3％ |
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垂直度（水平方向） |
1μm |
1μm |
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重復定位精度 |
＜0.15μm |
＜0.1μm |
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承載能力 |
9.8N（1.0kgf） |
9.8N（1.0kgf） |
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微小位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
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適用電纜 |
FINE-CA-3：壓電陶瓷平臺用
DS1-CA-3：數(shù)字位移傳感器用 |
FINE-CA-3：壓電陶瓷平臺用
DS1-CA-3：數(shù)字位移傳感器用 | |
