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產(chǎn)品說明：
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為壓電陶瓷，位置反饋采用數(shù)字位移傳感器，可以用于顯微鏡的物鏡驅(qū)動(dòng)。
特點(diǎn)：
● 尺寸小，可進(jìn)行高速高分辨率定位。
● 開環(huán)控制時(shí)的行程為100μm。
● 考慮到顯微鏡的種類，我們備有2種用于正置型和1種用于倒置型顯微鏡的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品。
● 和其它壓電陶瓷平臺(tái)類似，可用控制器（FINE-01γ/503(CL)）實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)。它們具有RS232C，
GP-IB（僅FINE-503(CL)），USB接口，配合計(jì)量·控制軟件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX，可簡(jiǎn)單地構(gòu)建控制需要的系統(tǒng)。
● 備有多種螺紋適配器，可以安裝不同螺紋尺寸的物鏡。
● SFS-OBL-2是采用了金屬封裝的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，和SFS-OBL-1相比，具有更好的抵抗?jié)穸拳h(huán)境的性能。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
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型號(hào) |
 SFS-OBL-1
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SFS-OBL-2 |
SFAI-OBL-1R |
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行程 |
100μm±15％ |
100μm±15％ |
100μm±15％ |
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最大可安裝物鏡直徑〔mm〕 |
外徑φ39以下 |
外徑φ39以下 |
外徑φ39以下 |
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外形尺寸〔mm〕 |
（W）75.5×（H）45×（D）40 |
（W）75.5×（H）55×（D）40 |
（W）60.8×（H）30×（D）40 |
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驅(qū)動(dòng)方式 |
壓電陶瓷 |
壓電陶瓷 |
壓電陶瓷 |
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自重〔kg〕 |
0.15 |
0.24 |
0.15 |
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理論分辨率（開環(huán)時(shí)）〔nm〕 |
1 |
1 |
約0.8 |
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分辨率（閉環(huán)時(shí)）〔nm〕 |
10 |
10 |
10 |
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直線度（Xy Xz Yx Yz）〔μm〕 |
＜1μm |
＜1μm |
＜0.2μm |
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重復(fù)定位精度〔μm〕 |
＜0.1μm |
＜0.1μm |
＜0.1μm |
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承載能力〔N〕 |
－ |
－ |
4.9（0.5kgf） |
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微小位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
數(shù)字位移傳感器 |
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螺紋適配器 |
OBL-ADP-＊＊ |
OBL-ADP-＊＊ |
OBL-ADP3-＊＊ |
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附屬件 |
電纜（2m） |
電纜（2m） |
電纜（2m），專用安裝支柱4個(gè) |
物鏡用螺紋適配器：
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