主要特征:
● 通用性:可測(cè)量光束位置(直徑高達(dá)9mm)、角度(高達(dá)180mRad)和功率(無(wú)濾波片10µW-5mW)
● 精確度:低至0.1µm分辨率@50Hz數(shù)字濾波器,位置測(cè)量:±15µm和低至0.005µm分辨率,角度測(cè)量:±0.125mRad
● 實(shí)時(shí)顯示測(cè)量的位置、角度和功率
● 便捷性:USB2.0接口,探測(cè)器和軟件在Notebook/Desktop WinXP/Vista/7/8均可工作
● 友好的軟件操作,具有完整的聯(lián)機(jī)幫助程序
規(guī)格參數(shù):
型號(hào) |
AlignMeter – 50 |
AlignMeter – 100 |
透鏡焦距 |
50mm |
100mm |
位置分辨率 |
Down to 0.1µm at 50Hz digital filter+Averaging |
Down to 0.1µm at 50Hz digital filter+Averaging |
位置精確度 |
±15µm edge-to-edge (±8µm) |
±15µm edge-to-edge (±8µm) |
角度測(cè)量范圍 |
180 mRad (90 mRad) |
80 mRad (40 mRad) |
角度分辨率 |
0.02 mRad (0.01 mRad) |
0.01 mRad (0.006 mRad) |
角度精確度 |
0.5 mRad edge-to-edge (0.01 mRad) |
0.25 mRad edge-to-edge (0.15 mRad) |
重量 |
140 Gr. Excluding cables |
180 Gr. Excluding cables | |