主要特征:
● 12 bit A/D ● 同時高分辨率采樣所有模式 ● 實時檢測光束質量、尺寸和高斯擬合 ● 實時顯示光束2D/3D圖像 ● 測量光束的中心、橢圓度和功率 ● Excel數(shù)據(jù)存儲 ● RS232或TCP/IP數(shù)據(jù)傳輸 ● 可遠程操作 ● 觸摸屏顯示
規(guī)格參數(shù):
傳感器類型 |
|
Si
UV-Si
IR
IRE |
光譜范圍 |
Si
UV-Si
IR
IR增強 |
350-1100nm
190-1100nm
800-1800nm
1200-2700nm |
刀片數(shù) |
|
3(BA3頭)
7(BA7頭) |
光束尺寸范圍 |
BA3-Si和BA3-UV
BA7-Si和BA7-UV(橢圓形)
BA7-Si和BA7-UV(圓形)
BA3-IR3和BA3-IR3-E
BA7-IR3和BA7-IR3-E
BA3-IR5
BA7-IR5 |
3µm-5mm
15µm-10mm
15µm-9mm
3µm-3mm
15µm-3mm
3µm-5mm
15µm-5mm |
光束寬度分辨率 |
>100µm
<100µm |
1µm
0.1µm |
光束寬度精確度 |
|
±2% |
功率范圍 |
Si和UV-Si探頭
InGaAs探頭 |
10µW-1W(有衰減片)
10µW-5mW(無衰減片) |
功率精確度 |
Si和UV-Si探頭
InGaAs探頭 |
±5%
±10% |
功率分辨率 |
|
0.1µW |
位置精確度 |
|
±15µm |
位置分辨率 |
|
1µm |
飽和度 |
Si和UV-Si探頭 |
0.1W/cm2(無衰減片),20W/cm2(NG9) |
測量速率 |
|
5Hz |
溫度 |
|
0ºC-35 ºC |
PC接口 |
|
USB2.0(PCI可選) | |